綁定式磁控濺射旋轉(zhuǎn)靶材，包括背管(I)和固定套結(jié)在背管(I)外壁的靶管(3)，其特征在于:所述固定套結(jié)在背管(I)外壁的靶管(3)為至少一個(gè)，所述背管(I)外壁設(shè)有開(kāi)口槽(2)，靶管(3)通過(guò)填充在開(kāi)口槽(2)內(nèi)的無(wú)銦釬焊材料旋轉(zhuǎn)加熱焊接固定在背管(I)夕卜壁。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述綁定式磁控濺射旋轉(zhuǎn)靶材，其特征在于:所述開(kāi)口槽(2)為半圓形螺旋槽。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述綁定式磁控濺射旋轉(zhuǎn)靶材，其特征在于:所述半圓形螺旋槽螺距是槽深的一半。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述綁定式磁控濺射旋轉(zhuǎn)靶材，其特征在于:所述靶管(3)內(nèi)壁與背管(I)外壁間隙為0.2—0.4mm。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述綁定式磁控濺射旋轉(zhuǎn)靶材，其特征在于:所述靶管(3)為兩個(gè)以上時(shí)，革E管⑶與靶管(3)之間間隙小于0.5mm。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述綁定式磁控濺射旋轉(zhuǎn)靶材，其特征在于:所述靶管(3)為兩個(gè)以上時(shí)，靶管(3)與靶管(3)之間使用硅橡膠墊(4)和高溫膠帶密封。7.根據(jù)權(quán)利要求1-6中任一所述綁定式磁控濺射旋轉(zhuǎn)靶材，其特征在于:所述靶管(3)為三個(gè)以上時(shí)，設(shè)置在兩端部的兩個(gè)靶管(3)比中間靶管(3)厚30 % — 50 %。廣面。 濺射技術(shù)，濺射是制備薄膜材料的主要技術(shù)之，它利用離子源產(chǎn)生的離子，在真空中經(jīng)過(guò)加速聚集，而形成高速度能的離子束流，轟擊固體表面，離子和固體表面原子發(fā)生動(dòng)能交換，使固體表面的原子離開(kāi)固體并沉積在基底表面，被轟擊的固體是制備濺射法沉積薄膜的原材料，稱(chēng)為濺射靶材。各種類(lèi)型的濺射薄膜材料無(wú)論在半導(dǎo)體集成電路、太陽(yáng)能光伏、記錄介質(zhì)、平面顯示以及工件表面涂層等方面都得到了廣泛的應(yīng)用UVTM可提供硅材料等，硅靶材和晶圓的直徑可達(dá)18英寸。目前，硅晶圓主流尺寸為8英寸、12英寸。UVTM的硅靶材作為應(yīng)用于手機(jī)玻璃蓋板的重要靶材產(chǎn)品，已獲得多家手機(jī)玻璃蓋板生產(chǎn)客戶的認(rèn)可，并已實(shí)現(xiàn)批量供貨。ito。       半導(dǎo)體芯片行業(yè)用的金屬濺射靶材，主要種類(lèi)包括：銅、鉭、鋁、鈦、鈷和鎢等高純?yōu)R射靶材，以及鎳鉑、鎢鈦等合金類(lèi)的濺射靶材。銅靶和鉭靶通常配合起來(lái)使用。目前晶圓的制造正朝著更小的制程方向發(fā)展，銅導(dǎo)線工藝的應(yīng)用量在逐步加大，因此，銅和鉭靶材的需求將有望持續(xù)增長(zhǎng)。鋁靶和鈦靶通常配合起來(lái)使用。目前，在汽車(chē)電子芯片等需要110nm以上技術(shù)節(jié)點(diǎn)來(lái)保證其穩(wěn)定性和抗干擾性的領(lǐng)域，仍需大量使用鋁、鈦靶材。高純貨品靶材被譽(yù)為半導(dǎo)體芯片材料的強(qiáng)者，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對(duì)濺射靶材和濺射薄膜的品質(zhì)要求非常高，隨著更大尺寸的硅晶圓片制造出來(lái)，相應(yīng)地要求濺射靶材也朝著大尺寸、高純度的方向發(fā)展，同時(shí)也對(duì)濺射靶材的晶粒晶向控制提出了更高的要求。       由于HJT電池的工藝要求較高，因此ITO濺射靶材的比例和純度非常重要。什么是高純?yōu)R射靶材？就是利用各種高純單質(zhì)貨品及新型化合物制得的功能薄膜為（簡(jiǎn)單理解就是純度更高），主要用于對(duì)材料純度、穩(wěn)定性要求更高的領(lǐng)域，像集成電路、平板顯示器、太陽(yáng)能電池、記錄媒體、智能玻璃等行業(yè)。在濺射靶材應(yīng)用領(lǐng)域中，半導(dǎo)體芯片對(duì)濺射靶材的要求是比較高的，要求靶材純度很高，一般在5N（99.999%）以上。日本在電子行業(yè)的上游材料領(lǐng)域占據(jù)了優(yōu)勢(shì)，在硅晶圓材料、光罩、靶材等重要的細(xì)分子領(lǐng)域的市場(chǎng)份額都超過(guò)50%。高純靶材用量較大的行業(yè)主要有半導(dǎo)體集成電路、平板顯示器、太陽(yáng)能電池、磁記錄介質(zhì)、光學(xué)器件等。AZO靶材是其中一種制造高科技節(jié)能玻璃鍍膜材料。銀銅合金靶材供應(yīng)。洛純靶材。       目前，大部分國(guó)家的靶材制造行業(yè)，特別是高純度的靶材市場(chǎng)，呈現(xiàn)寡頭壟斷格局，主要由幾家美日大企業(yè)把持，如日本的三井礦業(yè)、日礦金屬、日本東曹、住友化學(xué)、日本愛(ài)發(fā)科，以及美國(guó)霍尼韋爾、普萊克斯等。日礦金屬是大部分國(guó)家大的靶材供應(yīng)商，靶材銷(xiāo)售額約占大部分國(guó)家市場(chǎng)的30%，霍尼韋爾在并購(gòu)JohnsonMattey、整合高純鋁、鈦等原材料生產(chǎn)廠后，占到大部分國(guó)家市約20%的份額，此外，東曹和普萊克斯分別占20%和10%。氧化鋅是一種透明導(dǎo)電膜材料。以ZnO粉末和Al_2O_3粉末為主要原料,以常壓、空氣氣氛燒結(jié)為手段制備透明導(dǎo)電膜用ZnO陶瓷靶材。研究結(jié)果表明:粉末成型壓力為3MP時(shí),靶材電學(xué)性能佳;當(dāng)Al:Zn原子比為4.100時(shí),ZnO的電阻率低,達(dá)4.1×10~(-3)Ω·㎝,當(dāng)Al摻雜量超過(guò)某一數(shù)值后,Al不再以替位離子形式存在,而是與周?chē)腪n、O原子共同作用,生成鋅鋁尖晶石相,從而導(dǎo)致材料的電阻率升高。噴涂靶話。