工廠低價(jià)轉(zhuǎn)讓 2臺(tái)日本新科隆ACE-1100DS 雙槍，精控光控，深冷系統(tǒng)構(gòu)成基片傘架球狀傘架(Φ718、Φ950、Φ1200、Φ1400、Φ1700)、錐形傘架、平板夾具、反轉(zhuǎn)夾具光學(xué)式膜厚計(jì)OPM-Z1水晶式膜厚計(jì)XTC/3S、IC/6電腦系統(tǒng)SDC-I蒸發(fā)源電子槍方式、電阻加熱方式坩堝φ35/φ40坩堝離子源NIS-175、NIS-120、離子束輔助鍍膜、離子束清洗設(shè)備性能排氣時(shí)間達(dá)到2×10-3Pa不超過10分鐘(基片溫度設(shè)定為300℃)極限真空壓不超過5×10-5Pa基片加熱溫度常用250℃膜厚分布Δnd＜±1.0％(按本公司標(biāo)準(zhǔn)發(fā)貨基準(zhǔn))安裝條件（例）ACE-1350S所需電力三相　200V±10％　約70kW(電力)所需冷卻水約72L/min、18〜25℃(標(biāo)準(zhǔn)20℃)所需壓縮空氣不低于0.5MPaG(0.7MPaG)安裝面積W5150mm×D7000mm×H3150mm，頂棚高度不低于3500mm總重量約7600kg