1、設備名稱：ATON 1600 真空磁控濺射鍍膜線 2、產(chǎn)地：美國應用材料公司 3、功能：該系統(tǒng)專門針對光伏太陽能所需要的SIN層鍍膜設計，分為7個真空室：進料室、緩沖室、傳輸過渡室、濺射室1+濺射室2、傳輸過渡室、緩沖室、出料室。系統(tǒng)整體設計嚴格，采用分子泵高真空機組，配備高濺射效率的平面靶或旋轉(zhuǎn)靶，采用直流濺射。 設備也可以應用在ITO膜、SIO2膜、金屬膜，應用于如太陽能、LOW-E、LED等行業(yè)。 4、簡要介紹： 4.1、主體結(jié)構(gòu)：7組真空箱體，連續(xù)式 4.2、真空泵組：分子泵、高真空系統(tǒng) 4.3、濺射部分：4個陰極濺射 4.4、工件尺寸：1600*800較大尺寸 4.5、配套設施：外圍所需配套齊備 4.6、控制方式：全自動過程及工藝控制   ew Roman"; mso-hansi-font-family:"Times New Roman">、控制方式：全自動過程及工藝控制